レイリサーチ株式会社チップ洗浄機

最終更新日：2020-07-15 16:07:15.0
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2流体でウェーハを徹底洗浄します。

純水とエアーの2流体でダイシング後のウェーハ表面を洗浄する装置です。
独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。
ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応します。
【特徴】
　■搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功
　■純水とエアーの2流体でウェーハを徹底洗浄が可能
　■歩留まりに貢献

基本情報チップ洗浄機

【参考仕様】
　■リングフレームサイズ：200mm、300mm
　■構成要素
　　→ローダ・アンローダユニット
　　→搬送ユニット
　　→洗浄ユニット

価格帯	1000万円 ~ 5000万円
納期	お問い合わせください
用途／実績例	特別仕様に対応致します。お気軽にお問い合わせください。