『ACT-300A II-HS』は、MAX12,000±2rpmの高精度・高速回転が可能な卓上スピンコーターです。
粘性が高いスピンコート液や揮発しやすいスピンコート液で高速回転で速やかに液を塗り拡げたいなど、標準機の回転数では足りない場合には、是非高速回転をご検討ください。
こちらをベースにした特注(オプション追加)も承れますので、お気軽にお問い合わせください。
1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム(事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすいのも特徴です。
安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能です。
インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で回転停止、と安全面にも配慮しています。
操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。
ACT-300AII-HSのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス!
基本情報高精度・高速回転スピンコーター『ACT-300A II-HS』
【仕様(一部抜粋)】
■回転制御速度/回転精度:0~12000rpm/±2rpm以下 (負荷時)
■カップ(内径): Φ300
■外形寸法:W400×D570×H410(安全カバー閉時、アジャスタ付水平調整可能)
■電源:1Φ 100V-10A(ACサーボモーター400W)50/60Hz
スピンコートしたい基板が小型(丸基板の場合はφ150mmまで、四角基板の場合は□110mmまで)の場合はこちらのカップ径300mmの機種をご検討ください。
スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。
◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。
◎真空ポンプが必須オプションです。(ただし真空吸着によらない基板固定の場合は不要です)
オプションについてもっと知りたい方は下記へアクセス!
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/spincoater-option/
価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
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納期 |
お問い合わせください
※目安45日間、都度ご確認ください |
型番・ブランド名 | ACT-300AII-HS |
用途/実績例 | 【用途】 半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産 加熱仕様や、自動滴下、エッジリンス・バックリンス、搬送ロボットとのドッキング(上位からのPLC・シーケンサ制御)に興味がある方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/custom/ 回転の遠心力で薄膜を得るよりも、スピンによる枚様式の乾燥や洗浄、エッチングに興味がある方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/clean/ コストを抑えた必要十分のベーシック仕様、手動滴下の標準機に興味がある方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/standard/ 実際にスピンコート機が動いている様子を見たい方は下記へアクセス! https://www.youtube.com/channel/UCycim-_Cc57UQuM648PZpEA/videos |
ラインナップ
型番 | 概要 |
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ACT-220AII-HS | Φ5~Φ100 (Max.Φ4インチ、□70mm) 基板対応 ※筐体サイズ・価格はACT-300AII-HSと同等です※ |
ACT-300AII-HS | Φ5~Φ150(Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応 |
カタログ高精度・高速回転スピンコーター『ACT-300A II-HS』
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