ヤシマの電子ビーム蒸着装置はすべてカスタムオーダー。ムダなく、将来の拡張性高く、シンプル。それで価格もリーズナブル。
高融点材料の真空蒸着には電子ビーム蒸着装置が定番です。
弊社では弊社オリジナルだけでなく各社の蒸着ソースに対応します。
電子ビームを安定させる高真空・超高真空の環境を提供します。
基板ヒーター、回転など対応します。
ロードロック仕様に対応します。
シーケンサ・タッチパネルによる手動/自動運転も対応します。
基本情報電子ビーム蒸着装置
写真の基本仕様
4元電子ビーム蒸着装置
電源 3KW
排気系 ターボ分子ポンプ＋ロータリポンプ
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 高融点材料を含む各種金属及び一部セラミックスの真空蒸着 |
カタログ電子ビーム蒸着装置
取扱企業電子ビーム蒸着装置
電子ビーム蒸着装置へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
