株式会社P.R.A. 修理-1

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  修理実績　AE製電源修理

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株式会社P.R.A. 本社

■ 静電チャック用高圧電源 ESCとは？ 　半導体素子を作るシリコンウエハや液晶パネル用のガラス基板などを扱う際に、これらを装置の真空チャンバー内で吸着・固定させることが必要になります。この吸着力（プレート表面に現れる電荷の量）を発生・制御する機器が「高電圧電源(ESC: Electric Static Chuck)」です。 P.R.A.製ESC電源のメリット 　半導体製造装置で使用されているESC用高電圧電源の殆どは海外製であり、テクニカル・アプリケーション、及びアフターサポートを含めた問題が顕在化しています。P.R.A.では、御客様個別の仕様に応じたデザイン＆回路基板の設計段階から自社対応することで、問題点の改善、そして低コスト・短納期・長寿命を実現したESC電源を実現します。詳細情報・参考スペックは、以下弊社HP内のリンクURLを参照下さい：http://www.pra.jp/product/esc　 　※ 見積や相談は、下記の電話番号か弊社Webサイト・リンクURL宛てに直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389 http://www.pra.jp/contact

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