株式会社レイホー製作所 【カーボン製品の用途】半導体・太陽電池
- 最終更新日:2020-08-06 14:13:47.0
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黒鉛(カーボングラファイト)は半導体製造装置の様々な部品として活躍しています!
半導体分野では、高純度処理をした黒鉛材が必要とされており、シリコン
単結晶引上炉用の部材(ルツボ、ヒーター)などは不純物を嫌います。
一般的な人造黒鉛素自体は99.9%(代表値でCIP材約800ppm以下)は不純物の
ない素材となっております。
当社では、半導体関連部材・化合物半導体の製造工程、光ファイバー、
熱処理用サセプター、ダミーウ工ハー、薄膜太陽電池の製造装置部材なども、
製造しております。
【製品(抜粋)】
■高純度カーボン発熱体
■シリコン引上用ルツボ
■半導体製造装置治具
■カーボンスパッタリングターゲット
■固体高分子形燃料電池などのセパレータ
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基本情報【カーボン製品の用途】半導体・太陽電池
【その他の製品】
■太陽電池製造用部品
■液晶製造用部品
■光ファイバー製造用部品
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