SiC、GaN、サファイア等の親水性ウェーハでも回収が可能！
『NAC-304』は、Siウェーハのバルクエッチング機能を持った
自動微量金属汚染物質回収装置です。
カセットでセットした25枚のウェーハを自動で回収。
バルクエッチング後の回収も自動設定で行えます。
【特長】
■バルクエッチングは200mmと300mmの2種類が可能で、設定は**.*μmと設定
■バルクエッチングの平坦度は10%以内、エッチング深さの精度は±10%以内
（但し0.3μm以上時）200mmウェーハでは±20%以内
■1枚のウェーハを何層に分けてのバルクエッチングも可能 など
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報自動微量金属汚染物質回収装置『NAC-304』
【その他特長】
■VPD&回収は125mm～300mmウェーハまで対応が可能
■表面回収・ベベル回収（疎水面が条件）が可能
■300mmウェーハの回収時間は疎水面ウェーハでは10分程度
■回収率はほぼ90%以上
■装置のクリーン度は一般的な10元素で1×10^8atoms/cm2以下 など
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
カタログ自動微量金属汚染物質回収装置『NAC-304』
取扱企業自動微量金属汚染物質回収装置『NAC-304』
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