何方でも容易に使用できる親水性・疎水性ウェーハの回収装置です
『SC-9000』は、親水状態のウェーハからも汚染を回収できる
簡易型微量汚染物質回収装置です。
シリコン以外の材質のウェーハや、バルクエッチング等で
表面が荒れてしまったウェーハに対してもサンプリングが可能できます。
【特長】
■ウェーハの状態やサンプリング用薬液の種類に対する制限が緩和され、
重金属以外のイオン等の回収も可能
■従来の疎水面サンプリングも可能
■サンプリング用薬液の供給や保持具の移動を装置側が自動で実施 など
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基本情報簡易型微量汚染物質回収装置『SC-9000』
【仕様（一部抜粋）】
■対応ウェーハサイズ：100mm、125mm、150mm、200mm、300mm
■操作：パソコン
■保持具の装着/脱着：手動
■サンプリング用薬液の供給：自動
■サンプリング用薬液の回収：自動
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
カタログ簡易型微量汚染物質回収装置『SC-9000』
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