高い追従性0.1μm±20nmを実現！サブミクロンでのステップを綺麗に刻みます
『RSTアライナー』は、駆動ユニットをバランスの取れた正三角形に
配置した超高精度アライメントステージです。
この軸配置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にしました。
制御に必要な計算式は無償提供いたします。
モンブランシリーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、
感度良く追従します。
【特長】
■バランスの取れた正三角形配置
■専用設計の駆動ユニット
■大口径透過穴
■テーブルサイズ自在
■Z機構の追加可能
■カスタム対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』
【その他の特長】
■構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、
大口径の透過穴を設けることが可能
■駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、
形状を自由に設計できる
■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加のご提案も可能
■ストローク変更、高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■ウェハ接合装置 ■露光装置 ■各種基板の通電検査装置 ■サブミクロンの各種アライメント ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』
取扱企業超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』
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