半導体製造装置におけるエンドエフェクター（搬送ロボットの手の部分）には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。吸着機構を備えた搬送ハンド（エンドエフェクターのこと）には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使用するSUS貼りは、異物混入のリスクを増加させます。メタルコンタミネーションやパーティクルの混入リスクがない当社の空洞一体技術でつくられたセラミックス吸着搬送ハンドは業界標準となっています。PeriZacはウエハの接触面積、接触位置を工夫し、回路の作り込まれない外周部分をやさしく保持することで更にパーティクルの低減を図りました。歩留まりの向上を目指す半導体デバイスメーカー様向けに好評をいただいております。
基本情報セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）
【商品概要】
商品名 PeriZac
材質 アルミナ
サイズ (mm) 330ｘ226ｘ2.3
対応ウエハサイズ 12 インチ
発売⽇ 2020 年 8 ⽉
【製品特徴】
・ウエハ裏⾯を外周 3mm で吸着することで、接触によるパーティクル発生を抑制
・ウエハにダメージを与え難い材質をガイドに採⽤
・アスザック独自の接着剤を使⽤しない空洞⼀体技術で薄型化が可能
・センサー取り付けなどのオプションに対応
ウエハ外周吸着セラミックスハンド
【製品仕様】
大気仕様のハンドです。ウエハの外周を 4 箇所で吸着し、搬送します。
取り付け⽳の加工、根本の⻑さ、幅の変更に対応可能。
【本件に関するお問い合わせ先】
アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部 技術営業 ⼩林
TEL：026-248-1626、FAX：026-251-2160
【商品購入などお問い合わせ先】
アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部 技術営業 ⼩林
TEL：026-248-1626、FAX：026-251-2160 受付時間 9：00〜17：00(土⽇・祝⽇を除く)
| 価格情報 | お見積りください |
|---|---|
| 価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
| 納期 |
~ 1ヶ月 ※加工、センサー等の取り付け有無によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | 搬送ロボットのウエハを掴むエンドエフェクターとして、EFEM、ストッカー、各種半導体製造装置にご使用頂いております。 |
取扱企業セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）
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アスザックでは、アルミナ、炭化ケイ素、ジルコニアを始め、弊社が開発しました、 導電性のあるセラミックスのコルシードや、断熱セラミックスのアルシーマLなどのセラミックスを取り扱っております。 その他にも、多孔質セラミック・黒色セラミック・ック・構造用セラミックなど、お客様のニーズに合わせた材料開発も行っております。 どの材料が適しているかわからない。ということでもご相談ください。 原料の調合から機械加工まで一貫したセラミックス生産体制で、試作も迅速に対応いたします。 こんな材料がほしい、大きい部品を作りたい、あんなことが出来れば、、、 そう思ったら、まずはお気軽にお問い合わせください。 大型セラミックス製品でお困りの事がありましたら、なんなりとご用命ください。 スピーディーに対応させて頂きます。 全国どこへでも飛んで行きますのでお気軽にお問い合せ下さい。 営業所は本社がある長野県高山村、東京、大阪、福岡にあり、日本各地どこへでも迅速に訪問できる体制です。 製造工場は国内には長野県の高山村と塩尻市（大型セラミック専門工場）にあり、海外にはベトナムにあります。
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