株式会社モーショントラスト 精密XYステージ

半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります!

当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において
必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。

様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。
また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも
製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。

【ラインアップ】
■サーフェイス型エアスライダステージ
■ガントリ駆動型エアスライダステージ
■直交型リニアガイドステージ
■ガントリ固定型エアスライダステージ

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

基本情報精密XYステージ

【仕様(一部抜粋)】
■サーフェイス型エアスライダステージ
 ・外形寸法:1250×1000×270mm
 ・分解能:0.4nm
■ガントリ駆動型エアスライダステージ
 ・外形寸法:3640×4140×2040mm
 ・分解能:0.02μm
■直交型リニアガイドステージ
 ・外形寸法:3500×3160×1200mm
 ・分解能:0.015μm
■ガントリ固定型エアスライダステージ
 ・外形寸法:3500×5000×2600mm
 ・分解能:0.015μm など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

カタログ精密XYステージ

取扱企業精密XYステージ

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株式会社モーショントラスト

■XYステージ設計・製作・販売 ■エアスライダー設計・製作・販売 ■モーションコントロール技術の開発・販売 ■各種精密ユニットの設計・製作・販売 ■各種軸受け装置の輸入・販売 ■装置組立・精密ユニット組立等一貫受託製造

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