株式会社モーショントラスト 精密XYステージ
- 最終更新日:2020-09-29 15:10:05.0
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半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります!
当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において
必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。
様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。
また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも
製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。
【ラインアップ】
■サーフェイス型エアスライダステージ
■ガントリ駆動型エアスライダステージ
■直交型リニアガイドステージ
■ガントリ固定型エアスライダステージ
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報精密XYステージ
【仕様(一部抜粋)】
■サーフェイス型エアスライダステージ
・外形寸法:1250×1000×270mm
・分解能:0.4nm
■ガントリ駆動型エアスライダステージ
・外形寸法:3640×4140×2040mm
・分解能:0.02μm
■直交型リニアガイドステージ
・外形寸法:3500×3160×1200mm
・分解能:0.015μm
■ガントリ固定型エアスライダステージ
・外形寸法:3500×5000×2600mm
・分解能:0.015μm など
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
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