シンプルな構造により短時間で分解・組立が可能！潤滑油不使用なので清浄な真空が得られます。
『オイルフリースクロールポンプ』は、排気機構に潤滑油を使用せず、
清浄な真空が得られる製品です。
シンプルな構造なので短時間で分解・組立が出来、オイルを使用していないので、
クリーンなメンテナンス環境が得られます。
また、真空環境からベアリングを完全に遮断。水蒸気によるベアリンググリースの
劣化を防止し、よりクリーンな真空が得られます。
【特長】
■クリーン排気
■シンプル構造により短時間で分解、組立が可能
■nXDSおよびXDSポンプは特許ベアリングシールドを採用
■水蒸気によるベアリンググリースの劣化を防止
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報オイルフリースクロールポンプ
【ラインアップ】
■nXDS6i
■nXDS10i
■nXDS15i
■nXDS20i
■XDS35i
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■走査型電子顕微鏡 ■イオンインプランタ（ビームラインおよびエンドステーション） ■スパッタリング装置 ■蒸着装置 ■真空溶解炉・真空熱処理炉 ■表面改質装置・真空熱処理炉 ■ヘリウムリークディテクタ ■理化学実験用・分析機器用 ■ガス循環・回収装置用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログオイルフリースクロールポンプ
取扱企業オイルフリースクロールポンプ
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■真空バルブ、真空機器、部品の図面作成、設計、追加工、複合品提供
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