付着膜が厚くなるにつれ溶接間で変形。付着膜のストレスを緩和します
『パーティクルゲッター(PG)』は、特殊表面加工された銅板であり
従来の溶射加工の代わりとなる製品です。
薄膜形成時に使用される装置内のパーツ表面に貼ることにより、
パーティクルコントロールや、装置内パーツ表面からの膜の剥離を抑制する
といった効果が実証されています。
【特長】
■特殊表面加工された銅板
■溶射加工の代わりとなる
■特殊表面加工によるパーティクルを吸着
■エンボス加工による付着膜の残留応力を緩和
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基本情報パーティクルゲッター(PG)
【PG施工によるメリット(一例)】
■半導体の製品歩留まりが向上した
■バイヤス スパッター(反応スパッター)分野では、ダストの量が非常に多く、工程が成り立たない状況を改善できた
■シールドにブラスト処理等が少なくなり、部品の寿命が延びた
■新たなメリットとして、貴金属回収率が改善した
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【使用されている主な業界】 ■半導体 ■液晶 ■HDD ■水晶振動子 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログパーティクルゲッター(PG)
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