ガスフロー式で、N2,O2ガスを流すことが可能！オプションにて第三のガスも流せます
『MAT-200KA』は、4”＆6”GaAs-VGF炉の関連設備として開発された
電気炉です。
ガスフロー式で、N2,O2ガスを流すことが可能。
均一温度領域を長くするために3ゾーンに分離独立制御されます。
また、オプションにて第三のガスを流すことができます。
【特長】
■4”＆6”GaAs-VGF炉の関連設備として開発
■均一温度領域を長くするために3ゾーンに分離独立制御される
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報PBN坩堝熱処理炉『MAT-200KA』
【仕様(一部)】
■炉形式：3ゾーン半割り縦型
■処理物：PBN坩堝 φ160mm程度
■最高温度：～1100℃
■常用温度：～1050℃
■温度分布：1000±5℃ 350Lmm程度
■昇温速度：1050℃/4H
■炉芯管：石英管特殊形状 φ210mm程度
■発熱体：カンタルA1線 半円型φ250mm程度
■熱電対：R種、K種等
■断熱材：高温ファイバー成形品 など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【応用】 ■GaAs生産用に使用するPBN坩堝の内部を酸化する熱処理炉 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログPBN坩堝熱処理炉『MAT-200KA』
取扱企業PBN坩堝熱処理炉『MAT-200KA』
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■研究用、製造用バルク単結晶育成装置の設計、製造、販売 ■研究用、製造用薄膜単結晶育成装置の設計、製造、販売 ■研究用、製造用真空・加圧加熱処理装置の設計、製造、販売 ■他社の加熱装置の改造、機構部の製作、修理、制御部の改造
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