高品質なファインパターンを実現！寸法安定性に優れるフォトマスクをご紹介
『ガラスマスク』は、高精細で優れた光学特性、湿度、温度による
寸法変化の少ない光学マスクです。
「エマルジョンマスク」は、基材が湿度による伸縮がなく寸法安定性に優れ、
解像性が高く、シャープな画質が得られます。
「クロムマスク」は、マスク膜面が金属であるため、フィルムあるいは
エマルジョンのガラスマスクと比較して露光時の耐久性が非常に高く、
膜面が薄いため光学再現性に優れております。
【特長】
＜エマルジョンマスク＞
■基材が湿度による伸縮がなく寸法安定性に優れている
■解像性が高く、シャープな画質が得られる
■高機能フィルムを表面に貼ることで傷つき易い表面を保護
＜クロムマスク＞
■マスク膜面が金属であるため、露光時の耐久性が非常に高い
■膜面が薄いため光学再現性に優れている
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ガラスマスク
【仕様】
■対応サイズ：4×4inch～
■基材厚：1.6mm～
■基材：ソーダライム／人工石英
■温度1℃による変化：8.1μm／℃／0.5μm／℃（1m換算）
■湿度1％による変化：≓0μ／％（1m換算）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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