『SP-3400』は、3インチ用カソードを3源搭載したRFスパッタ装置です。
電源は500Wの高周波電源を1台搭載しており、金属・酸化物・絶縁物等の
成膜が可能となっています。
整合器は自動整合器を2台搭載することにより切替にて逆スパッタもでき、
成膜時の膜厚分布を良くする為に基板回転の機構も標準で搭載。
オペレートタッチ画面を採用しており、初心者でも簡単に排気系の自動操作を
行うことが可能で、誤作動防止のための安全回路を搭載しています。
【特長】
■3インチ用カソードを3源搭載
■電源は500Wの高周波電源を1台搭載
■金属・酸化物・絶縁物等の成膜が可能
■整合器は自動整合器を2台搭載することにより切替にて逆スパッタも可能
■成膜時の膜厚分布を良くする為に基板回転の機構も標準で搭載
■オペレートタッチ画面を採用、初心者でも簡単に排気系の自動操作が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報RFスパッタ装置『SP-3400』
【その他の特長】
■誤作動防止のための安全回路を搭載
■ターボ分子ポンプによるクリーンな排気により良質な成膜が行える
■冷却水循環装置、小型コンプレッサはオプションで装備可能
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログRFスパッタ装置『SP-3400』
取扱企業RFスパッタ装置『SP-3400』
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〇研究開発用・製造用の各種真空装置の設計・製造及び関連部品の販売 〇半導体・金属・有機材料等の薄膜作製と、電子・光デバイス製造装置の設計・製造及び関連真空部品等の販売 〇各種真空装置・熱処理炉等のリサイクル品及び関連部品の販売 〇触針式表面形状測定サービス業務(段差膜厚測定) 〇各種真空装置等の故障修理及びオーバーホール等のサービス業務 〇真空・熱・光学・力学・分析用各種試験装置・測定器、電気電子通信機器・測定器及び電子部品の販売
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