電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置です
『マグネトロンスパッタ装置』は、ターゲットの背面に強力な磁石を用いて
カソード表面層でのイオン化を促進し、電界によりイオンをターゲットに
衝突させて金属分子を放出させる原理を応用させたものです。
株式会社真空デバイス製の本装置は試料へのダメージが極めて少ないことが
特長です。
また、スパッタターゲットの種類、試料のサイズ、価格など、
お客様のご要望に合ったラインアップを各種取り揃えております。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
【ラインアップ】
■MSP-mini
■MSP-1S
■MSP-20-UM
■MSP-20-MT
■MSP-20-TK など
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報マグネトロンスパッタ
【その他のラインアップ】
■MSP-40T
■MSP-8in
■MSP-12S（受注生産）
■MSP-12in（受注生産）
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログマグネトロンスパッタ
取扱企業マグネトロンスパッタ
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