土井精密ラップ株式会社 フォトマスク基板検査装置『Torin G8／G10』
- 最終更新日：2020-12-24 13:17:44.0
- 印刷用ページ
測定範囲は最大2100×2000mmまで可能！パソコンにてサーボモータの速度と位置決めをしています
『Torin G8／G10』は、フォトマスク基板にストレスをかけずに垂直に立てて
基板の厚み、平面度を対向する2基の半導体レーザが高精度に計測する
フォトマスク基板検査装置です。
測定範囲は最大2100×2000mmまで可能。
主定盤、コラム、スライド部はすべてインド産黒ミカゲ石を使用し、計測に
重要な計測軸にはエアーベアリングが採用されています。
【特長】
■2基の半導体レーザが高精度に計測
■計測に重要な計測軸にはエアーベアリングを採用
■1基の光学プローブは鏡面基板のみに使用され絶対厚みと両平面度を得られる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報フォトマスク基板検査装置『Torin G8／G10』
【G8仕様(一部)】
■最大計測サイズ：Y1400×1600mm
■計測厚み：5～20mm
■装置の大きさ：W2900×D1500×H2500mm
■重量：8ton など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログフォトマスク基板検査装置『Torin G8／G10』
取扱企業フォトマスク基板検査装置『Torin G8／G10』
-
-
■ラッピング加工 ■ポリッシング加工 ■測定スタンド ■石定盤・石定盤修正 ■特殊加工石製品 ■エアスライド ■CTエアベアリング ■形状測定装置製造
フォトマスク基板検査装置『Torin G8／G10』へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
