原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX20』パーク・システムズ・ジャパン

故障解析と大型試料における研究開発のためのナノ形状計測ツール

『Park NX20』は、パワー、汎用性、操作の容易性を芸術的に組み合わせた
大型試料用の原子間力顕微鏡(AFM)です。

本製品には、デバイス障害の背後にある原因を明らかにし、より創造的な
ソリューションを開発するための独自の機能が装備されています。

また、真のノンコンタクト(TM)モードのスキャンによって、チップがより鋭く、
かつ長く保たれるため、無駄な時間と費用の発生を防ぐこともできます。

【研究およびFAラボにおける大型試料用AFMを使ったソリューション】
■メディア、基盤用の表面ラフネス計測
■欠陥検査イメージングと解析
■高解分解能電気特性測定モード
■3D構造解析における側壁計測
■低ノイズZ検出器を備えた正確なAFM形状イメージング

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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基本情報原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX20』

【仕様（スキャナー）】
■XYスキャナー
　・クローズドループ制御単一XYスキャナー
　・スキャン範囲：100μm×100μm、50μm×50μm(オプション)、25μm×25μm(オプション)
　・20ビット位置制御と24ビット位置センサ
■Zスキャナー
　・フレクチャー式クローズドループスキャナー
　・スキャン範囲：15μm(オプション30μm)

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