日本セミラボ株式会社 エピ膜厚測定装置『EIR-2500』
- 最終更新日：2021-03-03 10:14:13.0
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IR反射率測定ヘッドを使用可能！高スループットのエピ膜厚測定を実現した測定装置
『EIR-2500』は、FTIR機能と共に、赤外分光反射率計を備えた独自の
エピ膜厚測定装置です。
高スループットのエピ膜厚測定を実現し、適用されるSEMI/CE規格に完全に
準拠しています。
また、EIR製品シリーズは、高性能で信頼性の高い電子機器に基づいており、
装置の稼働時間を向上してメンテナンスの必要性を減らします。
【特長】
■ウェハーサイズ：4～12インチ
■Si, SOI, SiC, SiGe, III Vなど
■FTIR機能
■エピ膜厚を高精度測定
■遷移領域の膜厚測定
※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報エピ膜厚測定装置『EIR-2500』
【その他の特長】
■酸素濃度、炭素濃度測定
■ロードポート：シングルまたはデュアルカセットロードポート
■高速マッピングステージ
■IR反射率測定ヘッドを使用可能（エピ膜厚用）
■追加の測定ヘッドを使用可能（分光エリプソメーター、4PPなど）
■エッジグリップ（オプション）
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログエピ膜厚測定装置『EIR-2500』
取扱企業エピ膜厚測定装置『EIR-2500』
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■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。 分光エリプソメーター 非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システム ナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡） キャリア移動度測定装置 非接触CV測定装置 ライフタイム測定装置 フォトルミネッセンス 装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。
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