薄型ウェハー搬送装置『TWH150/200/300』デリクソンテクノロジージャパン

化合物半導体ウェハーの搬送やオートメーションにも適した移載機

『TWH150/200/300』は、極薄ウェハー対応独立移載機としてカセットから
カセット、カセットからポッド、ポッドからカセット、ポッドからポッドへ
全自動詰め替え搬送を可能にします。

分析計やプロセス装置と組み込みモジュールシステムとして薄型ウェハー搬送を
全自動化させることができます。

薄型やシリコンウェハーに限らず非接触搬送が必要とされるMEMS ウェハー、
化合物半導体ウェハーの搬送やオートメーションにも適しています。

【特長】
■極薄ウェハー対応
■全自動詰め替え搬送を可能にする
■オートメーションにも好適

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.delexon.jp/mechatronic_products.html

基本情報薄型ウェハー搬送装置『TWH150/200/300』

【仕様（抜粋）】
■操作方法：タッチスクリーンパネル
■クリーン度：Class10 対応
■規格：CE,SEMI-S2,S8 準拠
■必要ファシリティ：N2又はAir（0.6-0.7MPa）
■電源：100-200VAC 50-60Hz

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用途／実績例	【用途】 ■薄型ウェハー、MEMS ウェハー、化合物半導体ウェハーの搬送など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業薄型ウェハー搬送装置『TWH150/200/300』

デリクソンテクノロジージャパン株式会社

メカトロニック・システムテクニック社製　薄型ウェハー搬送装置の販売、サービス代理店リクマー社製　ウェハー搬送装置の販売、サービス代理店半導体製造装置用ウェハー搬送用ロボット、アライナーなどの修理、オーバーホール半導体製造装置用ＲＦ電源、ＲＦマッチ、ＤＣ電源等の修理半導体製造装置の企画、開発、販売、修理半導体周辺機器の企画、開発、販売、修理中古半導体装置、中古周辺機器の販売、修理