電気的特性評価をはじめ、光学特性評価、結晶性評価、組成評価を実施！
当社の『コンビナトリアル特性解析』では、ご要望により、組成変化に
従った種々の多点物理分析をいたします。
画像の例では、Si基板上のHfO2、Y2O3、Al2O3の正三角形の
3元コンビナトリアル組成傾斜試料にPt電極を形成してC-V、I-Vの
電気的特性を行い、高誘電率層の評価をしたものです。
上から、誘電率、フラットバンド電位、リーク電流の組成マッピングを
示しており、1試料中の246組成が同時評価できます。
ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。
【サービス内容】
■C-V、I-V、半導体特性などなどの電気的特性評価(室温～400℃）
■透過率測定、分光エリプソメトリなどの光学特性評価
■マイクロビームXRDを用いた結晶性評価
■マイクロビームXRF、XPS、Auger分光などによる組成評価
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報コンビナトリアル特性解析
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