スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備！各試料ホルダーへの試料の移載が可能
『CEX-2420』は、コンビナトリアル・スパッタ装置「CMS-6420」間、
あるいは、パスカル社製「PLD装置」間で、大気暴露なしに成膜試料を
超高真空下で移載搬送できる移動ロードロックシステムです。
L/L室と接続ポート部は、独立したターボ分子ポンプで排気され、
試料を常に超高真空下に持ちます。また、スパッタ装置用、PLD装置用の
2つの接続ポートを備え、各試料ホルダーへの試料の移載が可能。
無停電電源でバックアップされ、30分以上の移動時の無通電可動ができます。
【特長】
■大気暴露なしに成膜試料を超高真空下で移載搬送できる
■スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを備え、
各試料ホルダーへの試料の移載が可能
■無停電電源でバックアップされ、30分以上の移動時の
無通電可動ができる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報移動ロードロックシステム『CEX-2420』
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ移動ロードロックシステム『CEX-2420』
取扱企業移動ロードロックシステム『CEX-2420』
移動ロードロックシステム『CEX-2420』へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
