マテリアルズインフォマティクスのためのハイスループット薄膜の作製と評価
機能性材料など開発において“短期間で好適な組成を見出したい”や
“組成変化による特性データを蓄積したい”等でお困りではありませんか。
当社では『コンビナトリアル成膜の受託』を行っています。
好適な組成探索をより早く、より正確に対応。
様々な材料について成膜経験があるエンジニアが、お客様のご要望に
お応えします。まずはお問合せ下さい。
【特長】
■コンビナトリアルライブラリ薄膜試料の作製
■コンビナトリアル特性解析
■コンビナトリアルマグネトロンスパッタ装置の販売
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報コンビナトリアル成膜の受託
【CMS-6420, 3200の特長】
■2元& 3元コンビ成膜に対応
■PCからのレシピ入力&自動成膜に対応
■タッチパネルで簡単操作(自動排気、成膜プロセス)
■基板加熱可能(標準仕様:最高650℃)
■ロードロック室での高温アニール可能(オプション)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【このような場合はおまかせ下さい】 ■短期間で好適な組成を見出したい! ■組成変化による特性データを蓄積したい! ■コンタミ等の懸念があるので自社装置での成膜はちょっと… ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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