4探針法によるシート抵抗測定システムです
コンパクトに形成された四点プローブシステムは、半導体/液晶基板、太陽電池セル、ならびに導電性薄膜等の研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、多様化する電子材料の抵抗率、 シート抵抗値 を四探針法により迅速かつ高精度に測定します。
基本情報シート抵抗測定器・四探針プローバ
メタル層、エピ層、イオン注入層、拡散層等といった薄膜から厚膜まで様々な膜質に対応でき、さらに平均値、V/I、標準偏差の表示機能やWindowsを用いて、データ集計､3Dマッピングなどが可能です｡又､オプションとして、拡張測定レンジ、SPC（統計管理機能）、温度補正機能の追加やCtoC使用に対応できます｡
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | シート抵抗測定 |
カタログシート抵抗測定器・四探針プローバ
取扱企業シート抵抗測定器・四探針プローバ
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半導体、有機ＥＬ、液晶、太陽電池、燃料電池用検査装置、精密機器部品用ピンセット・工具の販売
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