株式会社くまさんメディクス ブレイク装置 サファイア Gan セラミック GaAs など
- 最終更新日:2021-06-25 17:05:48.0
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6インチウェハに対応したブレーク装置をご紹介します! ブレードとテーブルを交換することで2インチから4インチウェハに対応可能。
ダブルアーム搬送により、ウェハのロード時間を短縮します。
また、視認性の向上により、画像認識時のマッチングエラーを減少させます。
【特長】
■6インチウェハに標準対応
■ブレーク認識機能搭載
■リング搬送機能向上によるスループットの向上
■画像認識機能向上による操作性の向上
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ブレイク装置 サファイア Gan セラミック GaAs など
【オプション】
■上面ライトシステム
・下面からの照射だけでは見え難いウェハに対して、有効な上面から照射を行う
■電磁ハンマーユニット
・通常のブレーク動作だけでは割れ難いウェハに対して、ブレークのサポートをする
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 高硬度材料、化合物半導体の個片化(サファイア GaAs Gan Inp Si Sic セラミック LTCC ガラス) |
詳細情報ブレイク装置 サファイア Gan セラミック GaAs など
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高硬度材料、化合物半導体の個片化(サファイア GaAs Gan Inp Si Sic セラミック LTCC ガラス)
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