スクライブ装置　サファイア　GaAs　GaN　Inp　セラミックくまさんメディクス

ハイスピード・ハイクオリティ！4インチウェハ対応のセミオートスクライブ装置！

加工軸・送り軸・カメラ軸がそれぞれ独立した4インチウェハ対応セミオートスクライブ装置です。バネ方式のように切り込み深さに左右されず、一定の荷重が可能になると共にエアサスペンション効果によりツールのジャンピングが極めて少なくなります。また、駆動側の振動を減らすために、リニアサーボモータを搭載し、より精密なスクライブが可能になりました。
【特長】
■高剛性設計・高スループット
■オートアライメント機能
■エア制御によるツール加圧
■リニアサーボモータの搭載
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://ksmedix.com/product

基本情報スクライブ装置　サファイア　GaAs　GaN　Inp　セラミック

【オプション】
■ダイヤモンド・スクライブツール
・蓄積されたスクライブ技術をベースに、卓越したダイヤモンド加工技術によって生み出されるツール
■ツールセッター
・準備時間の節約と、カッティング・ポイントを容易に出すための治具
・オペレーションを精密かつ短時間で実現

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用途／実績例	サファイヤ　GaAs　GaN　Inp　Si　Sic　セラミック　LTCC　ガラス等の化合物半導体、高硬度材料も加工可能。

詳細情報スクライブ装置　サファイア　GaAs　GaN　Inp　セラミック

: サファイヤ　GaAs　GaN　Inp　Si　Sic　セラミック　LTCC　ガラス等の
化合物半導体、高硬度材料も加工可能。

取扱企業スクライブ装置　サファイア　GaAs　GaN　Inp　セラミック

株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場

【事業部】 ■半導体技術部　・前工程用半導体製造装置の保守・移設・立上・改造・解体・廃棄、半導体製造装置中古機の販売 ■MPSD事業部　・半導体製造装置の設計・製造・設置、ハーネス製作、制御盤製作 ■営業部　・省力化装置、治具の開発・製造販売(リードフレームカウンター/PKGズレ測定機/PKG打抜き治具/その他、個別仕様製品)