イーアールエス株式会社 セミオート・テープマウンター『SMM-100』
- 最終更新日：2021-06-25 16:43:02.0
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テープにウェハーを気泡なく貼れるイーアールエスのダイシング周辺装置をご紹介します
『SMM-100』は、半自動でウェハとダイシングテープをテープフレームに
精度良く貼り合わせるセミオート・テープマウンターです。
ウェハに適正な温度が加わるように、テーブルを加熱可能。
テープの帯電防止としてイオナイザーを装備しています
またオプションで、指定テープフレーム以外のリングはセットプレートの
交換で対応可能です。
【特長】
■ウェハに適正な温度が加わるように、テーブルを加熱できる
■テープの帯電防止としてイオナイザーを装備
■テープ及びウェハの貼付けは、設定した速度で自動的に行う
■ウェハの厚さ調整は、テーブル高さの上下で設定できる
■IC基板（モールド完）の貼り合わせも可能
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基本情報セミオート・テープマウンター『SMM-100』
【仕様】
■適用ウェハー：φ8インチ以下
■テープフレーム：MODTF2-8-1
■テーブル加熱温度：RT～80℃
■適応テープ寸法
・幅：300mm
・芯径：φ75
・巻径：Max φ200
■貼り付けスピード：1～20mm/Sec
■外径寸法
・幅：650mm
・奥行き：800mm
・高さ：500mm
■ユーティリティ：ドライエア（0.4MPa以上）/ 工場真空
■重量：70Kg
■供給源：AC100V 20A
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取扱企業セミオート・テープマウンター『SMM-100』
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■ロボットを活用した生産業務の自動化システム設計・開発 ■コーター・塗工装置の設計・開発 ■ウェア用機器、化合物・結晶体研削機の設計・開発 ■自動化システムと連動したIoTシステムの設計・開発 ■ロボットハンドの研究・開発 ■ラボ・試作機の設計・開発 ■生産業務の自動化コンサルティング
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