Hellma Materials Japan株式会社 フッ化カルシウム（CaF2）
- 最終更新日：2021-07-09 10:36:01.0
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紫外線/可視光/赤外線アプリケーション向けの光学材料
当社の『フッ化カルシウム（CaF2）』は、長年に渡って半導体製造における
マイクロリソグラフィーの鍵を握る材料として使用され続けています。
エキシマレーザーの光学系の素子として標準的に用いられており、更に
その特長的な性質は様々な分野のアプリケーションへ応用されています。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
【特長（Lithotec(R) CaF2）】
■深紫外130nm～赤外8μmの広波長域に対する高透過率
■低い屈折率（nd=1.43384）
■低いスペクトル分散（vd=95.23）
■157m、193nm、248nmといったエキシマレーザーに対する優れたレーザー耐久性
■高エネルギー分子や放射線への強い耐久性
■直径420mmと大型の結晶
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報フッ化カルシウム（CaF2）
【ラインアップ】
■IC Lithoタイプ：エキシマレーザー、半導体製造装置用光学部品
■Non-Lithoタイプ：顕微鏡、測定装置、カメラ等の映像系光学部品
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■紫外線、赤外線光学装置 ■航空宇宙用の光学装置 ■顕微鏡 ■分光計 ■レーザー窓 ■エキシマレーザー ■マイクロリソグラフィー光学系 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
カタログフッ化カルシウム（CaF2）
取扱企業フッ化カルシウム（CaF2）
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【取扱品目】 <結晶材料> ■光学材料 ・フッ化カルシウム ・フッ化バリウム ・レーザー結晶 ・CVD製法 硫化亜鉛/クリアトラン ・CVD製法 セレン化亜鉛 ■放射線検知用結晶
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