アクティブのスピンコーターは大型基板にも対応可能です。
対応基板サイズ（カップ径）が大きくなると装置サイズも大きく重くなります。卓上にのせると作業高さが使いにくくなるのもあり、自立型として製作しております。自立型はアジャスターを縮めることでキャスターが接地するので移動も楽です。
対応基板サイズ（カップ径）の小さい卓上型スピンコーター同様、インターロックセンサー付き安全カバー、基板吸着圧力のインターロックで安全対策がなされています。
ACT-700AII（カップ径700）でスピンコートできる基板サイズはφ500mm（□360mm）になりますが、これ以上の基板サイズに対応するスピンコーターも製作可能です。例えば□1000mm基板をスピンコートする課題にカップサイズφ1800mmのスピンコーターを製作した実績がございます。
是非ご相談下さい。
【特長】
・研究～生産用と幅広く適合
・10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載
・非常停止ボタンを標準装備
・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報大型機・自立型スピンコーター
【ACT-700AIIの仕様より一部抜粋】
■基板サイズ：Φ5～Φ500mm （Max.Φ20インチ、□360ｍｍ） 基板対応
■ワークの重量：ワークの重量についてはご相談ください
■外形寸法：W848(ダンパー・排気口含め983)×D962×H扉閉996(扉開1650)mm
■電源：電源とACサーボモータの出力は基板サイズと重量により別途決定
■回転制御速度/回転精度：0～3000rpm/±2rpm以下 (負荷に応じて要相談）
◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。
◎真空ポンプが必須オプションです。（ただし真空吸着によらない基板固定の場合は不要です）
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
| 価格帯 | 500万円 ~ 1000万円 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※目安3か月間、都度ご確認ください |
| 型番・ブランド名 | アクティブ大型機・自立型スピンコーター |
| 用途／実績例 | 【用途】 半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ACT-600A II | Φ5～Φ400 （Max.Φ16インチ、□300ｍｍ） 基板対応 |
| ACT-700A II | Φ5～Φ500 （Max.Φ20インチ、□360ｍｍ） 基板対応 |
取扱企業大型機・自立型スピンコーター
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