高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』　ティー・ケイ・エス

In-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応！独FHR社製高速成膜ALD装置

『FHR.STAR-400x300SALD』は、200mmウェハあるいは
400x300mmまでの基板やテキスタイルの成膜に対応した
高速成膜ALD（Spacial ALD）装置です。

400x300の基板では10mm厚迄の3次元形状への均一な成膜が可能。
従来のサーマルALD方式に較べ高速で成膜できるためデバイスの量産に
使用が可能でIn-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応する
設計となっていますのでより精度の高いプロセスコントロールができます。

クラスター対応設計により必要に応じて搬送チャンバー、ロードロック、
その他プロセスチャンバーをインテグレーションができ、この設備の
他小口径ウェハ対応の設備も用意しておりますのでお問い合わせ下さい。

【特長】
■10mm厚迄の3次元形状への均一な成膜が可能（400x300の基板）
■従来のサーマルALD方式に較べ高速で成膜できる
■デバイスの量産に使用可能

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※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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取扱企業高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』　

ティー・ケイ・エス株式会社

研究用・製造用真空プロセス機器の輸入販売、保守・延命化のコンサルティング ■半導体・電子デバイス・光学薄膜製造装置等の輸出入販売・保守 ■高密度プラズマソースの輸出入販売・保守 ■有機材料昇華精製装置の輸出入販売・保守 ■イオンビームエッチング・ミリング装置の輸出入販売・保守 ■イオンビームスパッタ装置の輸出入販売・保守