株式会社クレステック 電子線描画装置『CABL-UH』
- 最終更新日：2021-10-07 17:51:51.0
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微小放電がほとんど発生しない構造の鏡筒を新たに開発し、長時間安定稼動を実現しました
『CABL-UH』は、高加速電圧の採用により、レジスト内の電子線の
前方散乱が少なく、より微細な加工が可能な電子線描画装置です。
130kVの加速電圧は1段加速で生成し、従来の多段加速による電子銃よりも
短い構造となっています。この1段加速の設計により、低収差で
クーロンぼけの少ない電子光学系が実現しました。
また、お客様の用途、予算に応じて110kV、90kVのラインアップも
揃えています。是非お問い合わせください。
【特長】
■高加速電圧を採用
■レジスト内の電子線の前方散乱が少ない
■より微細な加工が可能
■大電流で高解像度の描画が可能
※英語カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報電子線描画装置『CABL-UH』
【製品詳細】
■ビーム径：1.6nmΦ以下
■加速電圧：130kV, 110kV, 90kV
■ステージ：8インチ対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログ電子線描画装置『CABL-UH』
取扱企業電子線描画装置『CABL-UH』
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