ムサシノ電子株式会社 試料ホルダー『真空チャック式ホルダー』
- 最終更新日：2023-06-15 09:28:37.0
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『真空チャック式ホルダー』は、設定された研磨量までの自動精密研磨が行える
試料ホルダーです。
研磨量の設定は±3μm以下(最小読み取り1μmダイヤルゲージ付属)の精度で行え、
ストローク幅は5mmです。
透過電子顕微鏡用の試料作製や、SiウェハーやInP等の化合物半導体の薄片化に
適しております。
【特長】
■透過電子顕微鏡用の試料作製などに好適
■設定された研磨量までの自動精密研磨が可能
■研磨量の設定は±3μm以下の精度で行える
■バックラッシュゼロのストッパーが付属
■ストローク幅は5mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報試料ホルダー『真空チャック式ホルダー』
【ラインアップ】
■PJ-2（Φ2in. サイズの吸着面）
■PJ-3（Φ3in. サイズの吸着面）
■PJ-4（Φ4in. サイズの吸着面）
【サンプルサイズ】
ウェハー形状のもの、またはガラス丸板にサンプルを貼り付けたものを吸着可能
【加工実績のある材料例】
■半導体材料(シリコン、ゲルマニウム、炭化ケイ素、珪化ストロンチウム、ガリウム砒素、インジウムガリウムヒ素、インジウムリン、酸化インジウムガリウム亜鉛、窒化ガリウム、酸化ガリウム、カドミウムテルル …など)
■光学材料(石英ガラス、サファイア、蛍石レンズ、スピネル、リン酸塩ガラス、ホウ酸リチウム、アクリル樹脂(、CLBO、YiG、GGG …など)
セラミックス材料(アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、フェライト …など)
■金属材料(鉄鋼材料、ステンレス、銅、金、銀、白金、アルミニウム、チタン、モリブデン …など)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■2インチ～4インチウェハーやウェハーチップの精密研磨 ■バックサイドSIMS資料作成用の多膜層付きのウェハーチップ(□5mm～□10mm)の Si基盤を残り厚み1μm〜2μmまでの研磨 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ試料ホルダー『真空チャック式ホルダー』
取扱企業試料ホルダー『真空チャック式ホルダー』
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【取扱製品】 ■精密研磨システム ■常温硬化包埋樹脂 ■研磨盤 ■ポリシングクロス ■研磨剤 ■精密ブレードソー ■ダイヤモンドワイヤーソー ■精密手動スクライバー ■電子顕微鏡周辺機器
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