表裏の位置ずれ／寸法測定顕微鏡をご紹介。高精度、低価格化を実現しました
『TOMOS-50』は、水晶振動子、MEMS、半導体等の電子部品の表裏を
同時に撮影、±0.2μm以下の精度で測定できるコンパクトタイプの
表裏位置ずれ計測システムです。
表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正可能。
また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売もしております。
お問い合わせください。
【特長】
■コンパクトタイプ
■約300万画素
■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能
■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正
■±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定(条件により異なる)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報両面顕微鏡システム『TOMOS-50』
【仕様(一部)】
■光学系
・鏡筒：2(正立、倒立)
・対物レンズ：2(5、10、20、50倍から選択)
・Z粗微動調整：手動(正立、倒立)
■計測部
・測定再現性：±0.2μm以下(測定条件により変わる)
・PC-OS：Windows10
・表示モニター：2画面表示
■ソフト
・表裏光軸補正機能
・表裏同時撮影、画像ファイリング
・表裏寸法測定
・表裏位置ずれ測定 など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■観察：電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、フィルターなどの表裏同時観察 ■表裏位置ずれ計測：インクジェットノズル、水晶振動子、MEMSなどの表裏位置ずれ計測 ■表裏寸法計測：水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログ両面顕微鏡システム『TOMOS-50』
取扱企業両面顕微鏡システム『TOMOS-50』
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