ラップジャパン株式会社 ラップマスターCMPマシーン『LGP-712』
- 最終更新日:2022-01-07 11:50:12.0
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φ8"~φ12"ウェーハに対応!CMP加工中にln-Situパッドコンディショニングが可能
『LGP-712』はφ8"~φ12"ウェーハに対応し高精度技術の開発を支援する製品です。
2ポリッシングヘッドを備えデバイスの平坦化CMPに対応。
パッドやスラリーのご研究開発用の実験機としても適しております。
当社では、Cu-CMPなどのメタルCMPにも対応しお客様のご要望に
お応えできるように多くのオプションを用意しております。
【特長】
■超精密ポリッシングが可能
■2ポリッシングヘッドを備えデバイスの平坦化CMPに対応
■Cu-CMPなどのメタルCMPにも対応
■ご研究開発用の実験機としても適している
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基本情報ラップマスターCMPマシーン『LGP-712』
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価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログラップマスターCMPマシーン『LGP-712』
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