アクティブの『卓上型スピンコーターACT-450AII』はφ250mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の標準機です。
1分間の回転数を0~5000(ワークによっては6000も可能)の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム(事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすいのも特徴です。
安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能です。
インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。
操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。
ACT-450AIIのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス!
基本情報卓上型スピンコーター(スピンコート機)『ACT-450AII』
【仕様(一部抜粋)】
■0~5000/±1rpm以下 (負荷時)※条件が合えば6000rpmも可能
■カップ(内径):Φ450
■外形寸法:W580(ダンパー含め639)×D680(排気口付782)×H扉閉380(扉開880)mm※排気口はオプション
■電源:1Φ 100V-10A(ACサーボモーター400W)50 / 60Hz
基板が小型(丸基板の場合はφ250mmまで、四角基板の場合は□180mmまで)の場合はこちらのカップ径450mmの機種をご検討ください。
スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。
◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。
◎真空ポンプが必須オプションです。(真空吸着によらない基板固定の場合は不要)
オプションについてもっと知りたい方は下記へアクセス!
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/spincoater-option/
価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
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納期 |
お問い合わせください
※目安40日間、都度ご確認ください |
型番・ブランド名 | ACT-450AII |
用途/実績例 | 【用途】 半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産 小型の標準機だけでなく、手動滴下の大型機(自立型)にも興味がある方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/large/ 高速回転や加熱仕様、自動滴下、エッジリンス・バックリンス、搬送ロボットとのドッキング(上位からのPLC・シーケンサ制御)に興味がある方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/custom/ 回転の遠心力で薄膜を得るよりも、スピンによる枚様式の乾燥や洗浄、エッチングに興味がある方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/clean/ 実際にスピンコート機が動いている様子を見たい方は下記へアクセス! https://www.youtube.com/channel/UCycim-_Cc57UQuM648PZpEA/videos |
ラインナップ
型番 | 概要 |
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ACT-220AII | Φ5~Φ100 (Max.Φ4インチ、□70mm) 基板対応 |
ACT-300AII | Φ5~Φ150 (Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応 |
ACT-400AII | Φ5~Φ200 (Max.Φ8インチ、□150mm) 基板対応 |
ACT-450AII | Φ5~Φ250 (Max.Φ10インチ、□180mm) 基板対応 |
ACT-500AII | Φ5~Φ300 (Max.Φ12インチ、□220mm) 基板対応 |
ACT-600AII | Φ5~Φ400 (Max.Φ16インチ、□300mm) 基板対応 |
ACT-700AII | Φ5~Φ500 (Max.Φ20インチ、□360mm) 基板対応 |
ACT-700AII以上 | Φ500、□360mm以上の基板にも対応可能です。ご検討中の方は右記よりお問い合わせ下さい。 https://www.acti-ve.co.jp/contact/ |
詳細情報卓上型スピンコーター(スピンコート機)『ACT-450AII』
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アクティブのスピンコーターは無償での『デモ機の貸出・サンプルテスト』も行っております。
台数に限りがある為すでにお貸出中の場合はお待ちいただきますが、ACT-220AIIとACT-300AIIは常備しておりますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
(ACT-450AIIのご用意はございません。小さい基板であればACT-300AIIなどで動作の確認をしていただけます。)
基板をのせる試料台については、お客様に合わせて設計・製作する性質上、ベストなデモ用試料台は持ち合わせておりません。スピンコートしたい基板が吸着できるベターな試料台でのデモ・テストとなります。有償で基板に合わせた試料台を製作することは可能です。
デモ機貸出のご依頼は下記からお申込みいただけます。
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/loan_request_spincoater/
サンプルテストのご依頼は下記からお申込みいただけます。
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/sample_test_request_spincoater/
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弊社アクティブはスピンコーターの設計・製造・販売を行っております。
小型や卓上タイプの場合、それだけ機能が制限されてしまうかと思われがちですが、アクティブの小型スピンコーターは高性能を維持しつつコストを抑えた製品となっております。
AC100Vのため普通のコンセントで使用可能です。
コンパクトサイズで配置場所にも困りません。
特注機の製造にも対応しているため、お客様のご要望にピンポイントで合わせたスピンコーターを販売できます。
小型・卓上スピンコーターについて、お困り事やご不明点など御座いましたらスピンコーター製造メーカーのアクティブにお気軽にご相談ください。
弊社アクティブについてもっと知りたい方は下記へアクセス!
https://www.acti-ve.co.jp/features/
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アクティブ製のスピンコーターは、1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができる、10ステップ100パターンのプログラム(事前にご連絡いただくことで、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすく、操作パネルがシンプルで簡単です。
プログラム(ステップの考え方とレシピの設定方法)について詳しく知りたい方は下記へアクセス!
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/step/
操作画面について詳しく知りたい方は下記へアクセス!
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/display/
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本腰を入れてスピンコート機を選定し始めると、様々な疑問が発生すると思います。
スピンコーター購入で課題はクリアできるのか、試料台は基板サイズが変わっても使い続けられるのか、アクティブという会社は長くお付き合いするに値するのか・・・
多くの方々が疑問に思うことを解消したい方は、是非下記へアクセスしてください。よくある質問集となります。
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/qa/
上記閲覧しても解決しない問題は直接お問い合わせ下さい。
https://www.acti-ve.co.jp/contact/
カタログ卓上型スピンコーター(スピンコート機)『ACT-450AII』
取扱企業卓上型スピンコーター(スピンコート機)『ACT-450AII』
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