コンパクトな設計のマニュアル式オートアライメント露光装置(マスクアライナ）です。
【主な特長】
・多品種・小ロット生産や実験・研究に最適なマニュアル一括露光装置
・高精度オートアライメントおよび裏面アライメント機能を搭載。
・割れ基板へのオートアライメントが可能。
・フットプリントを縮小化することで省スペースを実現。
・UV-LED光源搭載可能
・レシピ管理機能
・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助とLOG保存。
基本情報実験・研究用露光装置
【主な仕様】
・サイズ：Ø2～Ø8”
・マスクサイズ：□4～□9”
【対応基板】
・シリコン、セラミック、サファイア、ガラス、水晶、他
※各種カスタマイズご相談承ります。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 詳細はお問い合わせください。 |
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