株式会社テクノサーチ 磁性薄膜作製装置『TLR-12』

生産用装置としての実績に基づく各種運転プログラムの組み込み易さの向上を実現しました

『TLR-12』は、安定した炉と制御系を搭載した磁性薄膜作製装置です。

生産用装置としての実績に基づく各種運転プログラムの組み込み易さを
向上。作業者と作業環境を保護するため装置全体をダクト付ケースに
収納しています。

尚、オプションにて液面検出機構の取り付けや、炉口シャッターを
プログラム上に組み込むことが可能です。

【特長】
■作業者と作業環境を保護するため装置全体をダクト付ケースに収納
■実績を重ねて安定した炉と制御系

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報磁性薄膜作製装置『TLR-12』

【仕様】
■型式名称:磁性薄膜製作装置 TLR-12
■ルツボ寸法(mm):φ120(OD)×120(H)
■加熱方法:3ゾーン式抵抗加熱
■加熱炉温度:1200℃(Max)
■試料軸移動速度:15~150mm/min
■試料軸移動量:700mm
■回転速度:10~500rpm(CW,CCW)
■制御方法:全自動システム
■電源:φ3 AC200V/20kVA

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

カタログ磁性薄膜作製装置『TLR-12』

取扱企業磁性薄膜作製装置『TLR-12』

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株式会社テクノサーチ

■半導体製造装置並びに金属、酸化物等の各種結晶育成装置の製造、販売、メンテナンスサービス

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