株式会社テクノサーチ 酸化物単結晶引き上げ装置『TCH-20』
- 最終更新日：2022-04-22 10:54:58.0
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使いやすい装置作りへのたゆまぬ改良。特殊仕様製品の製作にも積極的に対応します
『TCH-20』は、前面扉式水冷ジャケットチャンバー方式により作業性が
向上した酸化物単結晶引き上げ装置です。
加熱温度は2100℃。装置重量の軽量化と性能向上をポイントに
装置設計の徹底を行いました。
また、特殊仕様製品の製作にも積極的に対応します。
是非お問い合わせください。
【特長】
■前面扉式水冷ジャケットチャンバー方式により作業性が向上
■装置重量の軽量化と性能向上をポイントに装置設計の徹底
■使いやすい装置作りへのたゆまぬ改良
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報酸化物単結晶引き上げ装置『TCH-20』
【製品仕様(一部)】
■型式名称：CZ
■加熱温度：2100℃
■ルツボサイズ：(OD)150×(H)150×(t)2.5mm(lr)
■引上げ軸ストローク：700mm(max.)
■引上げ軸移動速度：0.2～10mm/h
■引上げ軸回転速度：60rpm
■引上げ軸回転角度：none
■引上げ軸X-Y移動ストローク：none など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログ酸化物単結晶引き上げ装置『TCH-20』
取扱企業酸化物単結晶引き上げ装置『TCH-20』
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■半導体製造装置並びに金属、酸化物等の各種結晶育成装置の製造、販売、メンテナンスサービス
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