処理速度は0.6～5.0m/min（可変）！有機EL製造ラインの洗浄装置を提供しています
当社が取り扱う、『OLED用処理装置』のご紹介です。
有機EL製造ラインの洗浄装置を提供。
基板サイズは370×470×1.1を処理致します。
装置としては、受入洗浄・純水洗浄・現像装置・ハクリ装置・
Crエッチング装置・ITOエッチング装置で構成しています。
【主な仕様】
■被洗浄物：ガラス基板 370×470 厚み 0.6～1.1t
■処理方法：枚用処理
■処理速度：0.6～5.0m/min（可変）
■パスライン：FL＋1100mm
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基本情報OLED用処理装置
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