オリフラ合わせはスイッチにて切替可能！中央部で偶数列のウェハを反転させるウェハ移載装置
当社が取り扱う、『ウェハ移載装置』をご紹介します。
左右2台のキャリアハンドラーにより、1～6個のキャリアを高速搬送。
オリフラ合わせは、上合せ、下合せがスイッチにて切替可能です。
中央部で偶数列のウェハを反転させることができ、奇数列反転は
オプションとなっております。
【主な仕様】
■対象ウェハ：4 OR 5 OR 6インチの専用機
■移載キャリア数：1～6個任意
■オリフラ合わせ：スイッチにて切替可能（上合せ、下合せ）
■移載時間：6個で9分以内
■装置寸法：1600mmX725mmX1450mm（4インチ仕様）
■装置重量：150Kg
■電源：AC100V、15A
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基本情報ウェハ移載装置
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