一度に1セット分を処理できる！搬送機付自動カセットクリーンオーブンのご紹介
当社が取り扱う、『自動搬送カセットクリーンオーブン』をご紹介します。
8″ウェハ25枚1カセットを6個1セットとし、1台のクリーンオーブンと
ローダ、アンローダ側の搬送ロボットを使用。一度に1セット分を処理できる
搬送機付となっております。
搬送方式は自動または手動が可能で、クリーンオーブン内温度はMAX140℃。
外形寸法は2590（W）×1400（D）×2400（H）となっております。
【主な仕様】
■処理ウェハ：8”石英ウェハ25枚入りカセット×6
■搬送方式：自動／手動
■クリーンオーブン内温度：MAX140℃
■クリーンオーブン内清浄度：クラス10 0.3μmRTにて
■外形寸法：2590（W）×1400（D）×2400（H）
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基本情報自動搬送カセットクリーンオーブン
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|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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