装置本体とポンプユニットと制御盤で構成！薬液供給方法はCCSS方式の有機溶剤洗浄装置
当社が取り扱う、『有機溶剤洗浄装置』をご紹介します。
6″ウェハカセット用の自動エッチング洗浄装置で、制御方式はPLC。
装置本体とポンプユニットと制御盤からなっています。
洗浄プロセスはバッチ洗浄、流れ方向は左→右の3機ロボット搬送です。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。
【主な仕様】
■搬送：6″ウェハの2カセット搬送
■洗浄プロセス：バッチ洗浄
■流れ方向：左→右の3機ロボット搬送
■制御方式：PLC
■薬液供給方法：CCSS 方式
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報有機溶剤洗浄装置
【プロセス】
■LD→SOLV.-1→SOLV.-2→N2 バブリング浸漬→QDR（O/F）
→2-STEPS CASCADE（DI）→F/R→S/D→UL/D
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■6″ウェハカセット用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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