インライン式超高純度ガス精製器ファインピュアラー300NL 大阪ガスリキッド

インライン式超高純度ガス精製器ファインピュアラー「300NL/minの大流量タイプ」

『ファインピュアラー FPI-300』は、窒素ガス中の各種不純物を1ppb以下へ純化します。

流量範囲は～300NL/minです。0.003µmパーティクルフィルタ標準装備。
再生することにより繰り返し使用可能です。

【特長】
■徹底したコスト管理
■3週間で納品可能
■国内製造
■低コストで長期間使用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.liquidgas.co.jp/product/gas02.html

基本情報インライン式超高純度ガス精製器ファインピュアラー300NL

【製品仕様(一部)】
■適用ガス：N2（※1）
■除去対象不純物：O2, CO, CO2, H2O
■原料ガス純度：5Nガスボンベ相当以上
■精製ガス中不純物濃度各除去対象成分：1ppb未満
■使用圧力：0.3MPaG以上 0.98MPaG以下
■最大圧力：0.98MPaG
■最大流量：300NL/min
■圧力損失：34kPa（※2）
■使用温度：常温（環境及びガス温共に）
■寿命・精製量（※3）：約36,000Nm3
■材質（ケーシング）：SUS316L
■寸法：Φ76.3mm×L667.6mm
■接続口径：1/2インチ VCR継手（オス）

※1： Ar,He,Ne,Xe,Kr,H2に関しては、別途ご相談ください
※2 ：精製器入口圧力0.3MPaGで最大流量流したときの圧力損失
※3 ：暫定参考値ですので変更される場合があります

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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型番・ブランド名	FPI-300
用途／実績例	【用途】 ■分析計用キャリアガス、ゼロガス ■半導体製造装置、CVD装置 ■高純度を要求される雰囲気ガス、パージガス ■溶接用シールドガス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。