短時間で測定データの収集が可能！前処理が不要で、試料の再利用ができます
当社は、KLA-Tencor社製「カンデラCS-10V」による、ウェハ表面解析
を受託いたします。
カンデラでは、微小欠陥を画像データとして検出可能。欠陥の発生マップと
個別欠陥状況の双方が観察できます。
対象材料はサファイア、SiC、GaN、他化合物半導体で、適用サイズは
φ2インチ～φ6インチ ウェハ（t1mm以下）となっております。
【特長】
■短時間で測定データの収集が可能
■前処理が不要、試料の再利用が可能
■電子顕微鏡で確認できない微小欠陥を検出
■適用サイズ：φ2インチ～φ6インチ ウェハ（t1mm以下）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ウェハ表面解析
【対象材料】
■サファイア
■SiC
■GaN
■他化合物半導体
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■欠陥解析 ・スクラッチ（キズ） ・ビット（凹欠陥） ・バンプ（凸欠陥） ・ステイン（薬液残渣） ■パーティクル検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログウェハ表面解析
取扱企業ウェハ表面解析
-
-
■材料開発：単結晶材・多結晶材（サファイア、フェライト） ■超硬材料の精密加工（ミクロン・サブミクロンの機械加工） ■加工内容：切断、研削、溝入れ、ラップ、ポリッシュ、洗浄、検査 ■材料：サファイア、フェライト、PZT、CuW、ガーネット、水晶、ガラス、アルミナ、 窒化アルミ、セラミックス、Ni、Al、W、Mo、他 ■膜形成、接着、加工：ガラス・金属膜のスパッタリング（Å単位）、ガラスボンディング ■精密アッセンブリー：クリーンルームを使用する組立、検査 ■クリーンルーム650m2（クラス10,000） ■検査受託業務（ウェハ表面解析、他） ■見附工場（見附市福島町） ■第二工場（魚沼市下島）
ウェハ表面解析へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
