エキシマランプとはクォークテクノロジー

電子部品の実装後の剥がれ防止、密着性など品質向上！大学・研究・開発でご活用いただけます

『エキシマランプ』とは、一般的な放電灯（水銀ランプやキセノンランプ等）
と異なる発光原理、構造で、真空紫外光を照射できる光源です。

低温過程で表面処理が可能。ドライ洗浄改質等には不要な可視光、赤外光が
比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージを与えません。

また、水銀ランプ（波長185nmと254nm）に比べるとフォトンエネルギーが高い
波長172nmの真空紫外光（VUV）を発生します。

【特長】
■準単色光
■低温過程で表面処理が可能
■波長172nmのエキシマ光を発光
■瞬時点灯点滅
■電子部品の実装後の剥がれ防止、密着性など品質向上

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.quark-tec.com/principle/excimer-3/

基本情報エキシマランプとは

【その他特長】
■二重構造のクォーツガラス管であり、内側には内部電極、外側に外部電極がある
■クォーツガラスの管内には、放電ガスであるキセノンガスが充填
■RF電源からの電圧印加により、発熱を極めて少なくかつ効率的にクォーツガラス
　チューブの間に放電プラズマを発生させるしくみ

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用途／実績例	【用途】 ■大学・研究・開発 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。