IC・メモリー・液晶・太陽電池等の半導体製造に欠かせないガスをご紹介します！
当社は1970年代にはじめて半導体グレードの高純度NH3を開発して以来、
総合化学メーカーとして培ったガスの合成・精製技術を応用して多種多様な
超高純度ガスを製造しております。
これらのガスは、成膜(CVD、ALD)、エッチング、ドーピング、エピタキシャル
成長など、様々な半導体製造プロセスに使用。
スマートフォン・ディスプレイ・太陽電池といった生活に身近な電子機器には、
IC・メモリ・パワー半導体など数多くの半導体製品が搭載されております。
住友精化は、高純度・高品質のガスを安定供給することで人々の豊かな
生活に貢献しております。
【ラインアップ(一部)】
■NH3 アンモニア
■N2O 亜酸化窒素
■CO 一酸化炭素
■NO 一酸化窒素
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報半導体用ガス
【その他のラインアップ(一部)】
■B2H6 ジボラン
■HCl 塩化水素
■SiH2Cl2 ジクロロシラン
■CH4 メタン
■C3H6 プロピレン
■C2H4 エチレン
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体製造 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業半導体用ガス
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