マスタースレーブ運転により、大出力化が可能！15kWスパッタ用直流電源のご紹介
『GEXUS』は、半導体成膜（スパッタ）用の電源です。
多段インバータ方式採用により、極めて少ないアークエネルギーを実現。
ワイドレンジインピーダンスで、進化する高性能、高信頼性を有しています。
ユニット単体出力は1.5kW～20kWがあり、マスタースレーブ運転により
最大300kWまで対応できます。
【特長】
■高信頼性（低故障率）
■オプションでアークサプレッサ有
■アーク時高速遮断（1us以内遮断）
■低アークエネルギー（1mJ/kW未満）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報半導体製造装置用電源『GEXUS』
【その他の特長】
■進化する高性能、高信頼性
■多段インバータ方式採用により、極めて少ないアークエネルギーを実現
■ワイドレンジインピーダンス
■マスタースレーブ運転により、大出力化が可能（最大60kW）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体成膜用電源 ■スパッタ用電源 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ半導体製造装置用電源『GEXUS』
取扱企業半導体製造装置用電源『GEXUS』
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エレクトロニクス事業部は、電源機器の技術開発を進める部署です。 オリジンのさまざまな技術の中枢を担っています。 また、経済環境と自然環境を考慮する創業以来の指針から、小型化・高効率化と省エネルギー化に努め、社会の要請に的確に応えています。
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