独自のスプレー配列により均一な現像処理を実現！メンテナンス性に優れる現像装置のご紹介
当製品は、露光処理後のパターニング現像装置です。
当社独自のスプレー配列により均一な現像処理を実現。スリップしづらい
搬送ロールを採用していますので、製品蛇行等によるレジストへのダメージを
軽減します。
また、現像チャンバーの蓋が大きく開口しますので、メンテナンス性に
優れています。
【特長】
■均一な現像処理が可能
■スリップしづらい搬送ロールを採用
■製品蛇行等によるレジストへのダメージを軽減
■高いメンテナンス性
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報現像装置
【装置仕様・構成例】
■装置寸法：5500mm×1800mm（付帯含む）
■有効処理幅：500mm
■基材厚み：0.06～1.0mm
■搬送速度：0.5～3.0m/min
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ現像装置
取扱企業現像装置
現像装置へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
