両面コンタクトプローバ『PCP-102WS』プラムファイブ

大電流/高電圧プロービングが可能！ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタクトを実現

『PCP-102WS』は、ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタクトを目的とした
高精度プローバです。

当社独自のXY位置補正機能とプロファイリング機能を採用することで、
ウェハの反りに対しても効果的な位置補正が可能。

ウェハ裏面のドレイン側でケルビン接続を行い、そのドレインセンス位置と
ウェハ表面のソースセンス位置とを合わせることで正確なRDS（on)（オン抵抗）の
測定をすることができます。

【特長】
■セラミックブレードによるウェハクランプ方式により、
　大電流/高電圧プロービングが可能
■1チップ内の複数ポイントでプロービングが可能
■鉄定盤、溶接フレームによる高剛性筐体を採用し、低振動化を実現
■ローコスト、ハイスループット
■小スペース（フットプリント）、省電力設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://plumfive.co.jp/semicon/product/wafer_probe…

基本情報両面コンタクトプローバ『PCP-102WS』

【仕様】
■ウエハサイズ
　150mm（6インチ）～200mm（8インチ）対応
　（100mm（4インチ）、125mm（5インチ）：オプション）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【実績例】 ■顧客製品でのアライメント成功実績100％（国内実績） ■PCPシリーズ累計500台の納入実績（2022年4月時点） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。