ポリイミド真空硬化量産装置『VertaCure XP』 Yield Engineering Systems, Inc.

200mm/300mmウェーハに対応し、クラス1の環境下で最大2つのプロセスモジュールを自動処理

『VertaCure XP』は、生産実績のあるプラットフォームとして、
世界の大手企業で継続採用されているポリイミド真空硬化量産装置です。

『VertaCure XP』1PMは50枚、2PMは100枚のウェハーを処理できます。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【真空キュアの優位性】
■低温ポリイミドの量産化へ適応
■処理時間：低圧3.5時間 vs. 大気圧8時間
■ラミナーフローによるパーティクルの低減・除去
■高いUniformityにより、HOT SPOTの大幅低減
■より完全な硬化（アウトガスを5倍低減）　他

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関連リンク - https://yieldengineering.com/vertacure-2/

基本情報ポリイミド真空硬化量産装置『VertaCure XP』

【共通アプリケーション】
■ポリイミド硬化
■BCB
■PBOの硬化
■低温ポリマー硬化
■Cuアニール
■Wafer to Wafer ボンディングアニール

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取扱企業ポリイミド真空硬化量産装置『VertaCure XP』

Yield Engineering Systems, Inc.

■サーマル製品　・低温キュア　・高真空キュア　・ウェハー＆パネル加工　・脱ガス・脱水　・フラックスレスリフロー　・高温ドーピングアニール　・UV・熱硬化　・高温キュア　・高圧キュア　・ハイブリッドボンディング ■コーティング製品　・単層膜コーティング　・in-situプラズマ洗浄　・LPCVDコーティング ■ウエットプロセス製品　・メッキ（電解＆無電解）　・エッチング　・洗浄・表面処理　・デスミア　・エッジ端面処理